Mit ihrem Projekt »EUV-Lithographie – Neues Licht für das digitale Zeitalter« nominiert für den Deutschen Zukunftspreis 2020 (v.l.): Dr. Sergiy Yulin, Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF, Dr. Peter Kürz, ZEISS Sparte SMT und Dr. Michael Kösters, TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing.
Mit ihrem Projekt »EUV-Lithographie – Neues Licht für das digitale Zeitalter« nominiert für den Deutschen Zukunftspreis 2020 (v.l.): Dr. Sergiy Yulin, Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF, Dr. Peter Kürz, ZEISS Sparte SMT und Dr. Michael Kösters, TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing. Bildrechte: MDR/Deutscher Zukunftspreis / Ansgar Pudenz